軟體名稱: | CoventorWare & MEMS+ 微機電專用軟體 |
軟體類別: | 工程類應用軟體-微機電 |
軟體簡介: | CoventorWare為微機電專用軟體,中心所採購之模組主要的功能為: 微機電元件設計:是前端設計軟體,具有一功能強大、為微機電元件設計之光罩工具(Layout Editor)可用來繪製、轉入或轉出光罩圖形(GDSII, CIF, DXF格式),又可定義微機電製程步驟(Process Emulator),然後自動產生三維幾何,供製程或設計工程師檢視結果,此結果可輸出SAT/IGES/STEP格式之三維幾何,可供進一步網格建立與分析。 元件模式特性分析:提供各種領域耦合的分析功能,讓使用者能分析微機電元件的各種特性,包括靜電場分析、熱與應力(含自然振頻與接觸)耦合分析、靜電場、熱與應力耦合分析、暫態熱分析、電熱耦合分析、壓阻材料特性模擬、電磁場分析、壓電特性分析、元件操作環境的阻尼與彈簧特性分析等等。 MEMS+說明簡介如下: MEMS+是美國Coventor公司所開發的微機電元件設計軟體CoventorWare之外,另一個微機電元件設計軟體平台,用來設計微機電元件之機械、靜電或機電耦合特性,並可以跟電路與封裝進行整合特性分析。微機電元件的建構是利用各種基本建構元件來組合而成,這些基本建構元件包 括機械元件(剛體、撓性板、樑、懸吊、彈簧等)、靜電元件(電極板、梳狀靜電結構)、流體元件(阻尼等)與封裝元件等。其中的撓性板與樑元件 是運用高階有限元素模型來描述其變形行為。在模型建立完成後,可以自動產生GDS格式的光罩圖形,也可以產生SAT格式的3D幾何,供其他軟體如 CoventorWare使用。 MEMS+能直接進行的分析包括直流分析(DC Analysis,即靜態分析)、直流掃描分析(DC Sweep)、機械模態分析(Mechanical Modal Analysis)與小訊號交流分析(Small-signal AC,即頻率分析)。其計算速度比傳統有限元素分析快速100倍以上。MEMS+所產生的微機電元件模型可以輸入到Cadence Virtuoso軟體進行進一步的分析。 |
軟體版別: | |
軟體平台: | PC版 |
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